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thermocera基板加熱的加熱器介紹

  • 發(fā)布日期:2023-03-24      瀏覽次數(shù):874
    • thermocera基板加熱的加熱器介紹

      用于PVD(氣相沉積/濺射)和CVD等真空薄膜實(shí)驗(yàn)的“超高溫基板加熱加熱器"
      具有優(yōu)異的均勻性,溫升特性和可控性,并且易于操作。

      • BH加熱器:用于大學(xué)研究機(jī)構(gòu)。 采用康塔爾和C/C復(fù)合材料。 外殼和防護(hù)罩作為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì),以實(shí)現(xiàn)較短的交貨時(shí)間和低廉的價(jià)格。

      • VH加熱器:采用SiC3,TiC3涂層,PG / PBN擴(kuò)大了應(yīng)用范圍。 與BH一樣,零件和材料是標(biāo)準(zhǔn)化的,以實(shí)現(xiàn)較短的交貨時(shí)間和低廉的價(jià)格。

      • HT加熱器:為超高溫區(qū)域定制的加熱器。 此外,即使在惡劣的條件下,也可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定均勻的加熱。 我們每次都會(huì)根據(jù)您的要求進(jìn)行設(shè)計(jì)。

      • SH加熱器:由于氣密結(jié)構(gòu),材料和沉積物不會(huì)滲透到內(nèi)部,并且可以長(zhǎng)時(shí)間進(jìn)行穩(wěn)定的加熱。 推薦用于 CVD 實(shí)驗(yàn)。


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      BH基板加熱加熱器

      PVD、退火、高溫樣品臺(tái)等
      Φ1英寸、Φ2英寸、Φ4英寸

       

      • 康塔爾(最高 800°C)

      • C/C 復(fù)合材料 (最高1600°C)

      • 鉭(最高1200°C)


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      VH基板加熱加熱器

      PVD,高壓/特高壓,惰性/反應(yīng)氣體
      Φ2英寸,至Φ6英寸

       

      • 碳化硅涂層(最高 3°C)

      • TiC3涂層(最高1600°C)

      • PG/PBN(最高1200°C)


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      HT基板加熱加熱器

      定制加熱器
      ,用于超高溫Φ1英寸至Φ6英寸

       

      • C/C 復(fù)合材料 (最高1700°C)

      • 碳化硅涂層(最高 3°C)

      • TiC3涂層(最高1900°C)

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        SH基板加熱加熱器

        CVD,高壓/特高壓,惰性和反應(yīng)性氣體
        Φ1英寸至Φ6英寸

         

        • 鎳鉻線鉻鎳鐵合金板(最高 850°C)

        • 鎢絲 BN 板/鉬蓋 (最高1100°C)


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        HS 熱舞臺(tái)

        PVD,高壓/超高壓,惰性/反應(yīng)氣體
        Φ2英寸至Φ8英寸

         

        • 有關(guān)加熱器部件,請(qǐng)參閱 VH、HT


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        昆士蘭燈加熱加熱器

        鹵素?zé)艏訜崞鲉卧?/span>

        Φ4英寸或Φ6英寸

         

        • PVD 燈加熱單元

        • 優(yōu)異的升溫特性和均勻性。



      聯(lián)系方式
      • 電話

      • 傳真

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